- Interfața frontală EFEM face legătura dintre sistemul de transport al materialelor din fabrică și mediul intern de transfer al echipamentului de proces, pentru predarea standardizată a plachetelor (wafer).
- Design compatibil SEMI Prezentat ca sistem de interfață compatibil cu standardele SEMI pentru comunicarea și integrarea echipamentelor.
- Robot de transfer cu două brațe Un robot cu două brațe și axă externă asigură transferul eficient al plachetelor în partea frontală a echipamentului.
- Amprentă la sol compactă Arhitectura cu dimensiuni reduse se potrivește modulelor frontale ale echipamentelor din fabricile de semiconductori, unde spațiul este limitat.
- Coordonare flexibilă a transportului Deplasează plachetele manual sau coordonat cu transportul din fabrică, precum sistemele suspendate.
- Controlul contaminării Permite transferuri repetabile ale plachetelor, reducând contactul operatorului cu substraturile critice.
Descriere
SIASUN TSS-3000 este un EFEM (Equipment Front End Module) pentru fabricarea semiconductorilor, care servește drept interfață controlată între sistemul de transport al materialelor din fabrică și mediul intern de transfer al echipamentului de proces. Coordonează încărcarea, alinierea și predarea plachetelor (wafer), contribuind la controlul contaminării și la o comunicare standardizată între echipamente, compatibilă SEMI. Cu o amprentă redusă la sol, TSS-3000 folosește un robot de transfer cu două brațe și axă externă pentru a muta plachetele manual sau în coordonare cu transportul din fabrică, de exemplu cu sistemele suspendate, asigurând o manipulare eficientă și repetabilă a plachetelor la intrarea în echipament. Este potrivit pentru camerele curate din fabricile de plachete, unde sunt necesare interfețe standardizate și un contact cât mai redus al operatorilor cu substraturile critice. Contactați-ne pentru preț și termenul de livrare.
Caracteristici
Specificații tehnice
| Marcă | SIASUN |
|---|---|
| Model | TSS-3000 |
| Tip robot | EFEM (Equipment Front End Module) / sistem front-end de transfer al plachetelor (wafer) |
| Interfață | Interfață frontală compatibilă SEMI |
| Robot de transfer | Robot cu două brațe și axă externă |
| Amprentă la sol | Compact / amprentă redusă |
| Operare | Manual sau coordonat cu transportul din fabrică (de ex. sisteme suspendate) |
| Aplicații tipice | Manipulare front-end în fabricile de plachete, încărcarea plachetelor și aliniere/predare |
Domenii de utilizare
Întrebări frecvente
Contactați-ne pentru prețul actual, termenul de livrare și o ofertă personalizată pentru robotul portal SIASUN.
Este un robot cartezian de tip portal pentru manipularea repetabilă a materialelor, cel mai des pentru încărcarea și descărcarea mașinilor CNC, transferurile între operații și liniile de automatizare a proceselor din fabrică.
Da. Datorită spațiului de lucru amplu și lungimii scalabile a șinei, un singur robot portal poate deservi mai multe mașini CNC sau posturi de lucru, reducând numărul de dispozitive de manipulare independente.
Interfața pentru efectorul final acceptă grippere pneumatice sau servo, ventuze, grippere magnetice și schimbătoare de scule, astfel încât poate fi configurat pentru manipularea pieselor, suprafețe plane sau feroase și celule cu mai multe operațiuni.
Da. Robotix Market livrează companiilor din întreaga lume, cu facturare și asistență post-vânzare. Contactați-ne pentru o ofertă.
Produse vizualizate recent
Nu ați vizualizat încă niciun produs.
