- Acționare directă, design fără curele Structura motorului fără angrenaje și fără curele reduce jocul și punctele de uzură mecanică, pentru mișcări de transfer mai line și mai fiabile.
- Potrivit pentru medii cu vid Construit pentru generare redusă de particule și degazare controlată, astfel încât plachetele (wafer) se deplasează între echipamentele de vid fără a compromite mediul controlat.
- Manipularea substraturilor sensibile Transferă plachetele între ecluzele de încărcare, camerele de transfer și modulele de proces, precum stațiile de depunere, corodare și metrologie.
- Mișcare cu vibrații controlate Mișcarea este reglată pentru a reduce la minimum vibrațiile la preluare, plasare și transport, protejând substraturile de mare valoare.
- Control pregătit pentru integrare Livrat cu un controler de mișcare și interfețe I/O, inclusiv un modul I/O actualizat, pentru conectarea la interblocările de la nivelul sculei și la semnalele din fabrică.
- Transfer repetabil, cu debit mare Manipularea constantă cu efectorul final asigură repetabilitate, productivitate și controlul contaminării în echipamentele de procesare a semiconductorilor.
Descriere
SIASUN Vacuum Robot Phoenix este un robot de transfer în vid pentru producția de semiconductori și camerele curate, conceput pentru a muta plachete (wafere) și alte substraturi sensibile între ecluzele de încărcare (load lock), camerele de transfer și modulele de proces, precum stațiile de depunere, corodare și metrologie, fără a compromite mediul controlat. Mișcarea sa este reglată pentru un transfer stabil și lin în condiții de vid, unde generarea redusă de particule, degazarea controlată și controlul vibrațiilor sunt esențiale pentru protejarea substraturilor de mare valoare.
Phoenix folosește o arhitectură cu acționare directă, care reduce dependența de angrenaje și curele, diminuând jocul mecanic și punctele de uzură pentru o mișcare mai lină și mai repetabilă. Livrat ca platformă pregătită pentru integrare, cu controler de mișcare și interfețe I/O, este potrivit pentru aplicații de manipulare în vid din industria semiconductorilor, din camerele curate și din mediul industrial, unde contează repetabilitatea, productivitatea și controlul contaminării. Contactați-ne pentru specificații detaliate, preț și termenul de livrare.
Caracteristici
Specificații tehnice
| Marcă | SIASUN |
|---|---|
| Model | Robot de vid Phoenix (seria PHOENIX B) |
| Tip robot | Robot de transfer al plachetelor în vid |
| Arhitectura de propulsie | Acționare directă, fără reductor și fără curele |
| Mediu | Vid / cameră curată (echipamente pentru semiconductori) |
| Manipulare | Wafere și substraturi sensibile, manipulate cu lama efectorului final |
| Control și I/O | Controler de mișcare cu modul I/O integrat pentru integrarea uneltelor |
| Aplicații tipice | Transfer pentru depunere, corodare și metrologie în echipamentele de procesare a semiconductorilor |
Domenii de utilizare
Întrebări frecvente
Contactați-ne pentru prețul actual, termenul de livrare și o ofertă personalizată pentru robotul pentru vid SIASUN Phoenix.
Este un robot de transfer în vid care mută plachetele (wafers) și alte substraturi sensibile între ecluzele de încărcare (load lock), camerele de transfer și modulele de proces, precum stațiile de depunere, corodare și metrologie, fără a întrerupe mediul de vid controlat.
Structura cu acționare directă, fără reductoare și fără curele, elimină componentele intermediare de transmisie, reducând jocul și punctele de uzură mecanică și asigurând o mișcare mai lină și mai repetabilă pentru transferul de precizie.
Da. Phoenix se livrează ca platformă pregătită pentru integrare, cu controler de mișcare și interfețe I/O, inclusiv un modul I/O actualizat, pentru conectarea la interblocările de la nivelul sculei și la semnalele de automatizare din fabrică. Specificațiile numerice detaliate se furnizează pentru fiecare configurație.
Da. Robotix Market livrează companiilor din întreaga lume, cu facturare și asistență post-vânzare. Contactați-ne pentru o ofertă.
Produse vizualizate recent
Nu ați vizualizat încă niciun produs.
